最新のフォトレジストアプリケーションでは、精密な剥離、除去、およびリンス特性が求められます。そのため、富士フイルムは、純度、パッケージング、および環境保護の業界標準を維持しながら、世界クラスのエッジビード除去を提供する EBR ソリューションの完全なラインを開発しました。
富士フイルムでは、あらゆる用途に対応できる幅広い溶剤を取り揃えています。富士フイルムの製品は最先端の施設で製造されており、粒子、微量金属、有機コンタミに関する世界最高の品質基準を満たしています。ストレート溶剤に加えて、富士フイルムは独自の用途または顧客固有の用途向けのカスタムブレンドもサポートしています。
製品ラインアップ
アルコールおよびケトン
メタノール
アセトン
MEK
エタノール
IPA
MIBC
MIBK
シクロペンタノン
シクロヘキサノン
アセテート・ラクトン・エーテル:
PGME
NOWPak
PGMEA
GBL
EL
nBA
EUV溶剤とカスタム ブレンド
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