半導体用樹脂 FE series 感光性
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特徴
- 応用
- 半導体用
- その他特徴
- 感光性
詳細
幅広い電子ビーム画像形成の用途に対応したポジ型およびネガ型レジストシリーズ
製品ラインアップ
FEPシリーズ
XFPシリーズ
FEPシリーズおよび、XFPシリーズの製品は、電子ビーム照射を使用したポジ型画像形成を必要とするさまざまな用途に適しています。
FENシリーズ
XFNシリーズ
FENシリーズおよび、XFNシリーズの製品は、電子ビーム照射を使用したネガ型画像形成を必要とするさまざまな用途に適しています。
特長
優れた解像度
プロセスウィンドウが広い
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