PECVD貯蔵マシン DLC800

概要
小ロットの低摩擦・耐摩耗コーティング生産向けのコンパクトなDLCコーティング装置。Huasheng DLC800は小ロットの工業用コーティング生産向けに設計されたコンパクト機です。マグネトロンスパッタリング（MS）とPECVDを組み合わせ、Cr/WC/a-C:H系DLCコーティングを堆積し、低摩擦・耐摩耗性・表面平滑性・良好な被膜密着性を実現します。

主な特長

• 設置面積を抑えるコンパクトなチャンバ設計で、小ロットの柔軟な生産に対応。
• MS＋PECVDのハイブリッドコーティング技術により、滑らかな形態と安定した膜構造のCr/WC/a-C:H DLC膜を作製。
• プラズマ洗浄およびSETエッチングにより基材と被膜の密着性を向上。
• 自動プロセス制御、モジュラー構成、保守性に配慮した設計で操作を簡素化。

性能のポイント

• 典型的被膜厚さ：2–4 µm
• 低摩擦係数：≤0.1
• 被膜硬度：≈2500 HV
• 典型堆積温度：<200°C

製品パラメータ
型式：DLC800
コーティング方式：MS + PECVD
エッチング：SET
寸法：L4850 × W1600 × H2400 mm
チャンバ容積：0.8 m³
有効被覆面積：Φ650 × 400 mm
被膜堆積温度：<200°C
対応能力：受注生産
最大搭載質量：500 kg
スピンドル直径：Φ170 mm
処理時間：6–8 h

特長 / 技術仕様

• 型式：DLC800
• コーティング：Cr/WC/a-C:H DLC（MS + PECVD）
• 典型厚さ：2–4 µm
• 摩擦係数：≤0.1
• 硬度：≈2500 HV
• 有効被覆面積：Φ650 × 400 mm
• 最大搭載質量：500 kg
• チャンバ容積：0.8 m³
• 堆積温度：<200°C
• バッチ当たりの処理時間：6–8 h