光起電性貯蔵マシン TC800 PLUS-F

型用

概要
高硬度、低摩擦、耐摩耗性に優れたta-C（ダイヤモンド様炭素）DLC被覆を、切削工具、金型、車載部品、精密工業部品向けに量産・研究開発用途で実現する産業用コーティングシステムです。

要約
TC800 PLUS-FはHuashengが開発したハイブリッドta-C DLCコーティング装置です。イオン源技術、マグネトロンスパッタリング、磁気ろ過を組み合わせ、密で平滑かつ高性能なta-Cコーティングを形成します。

TC800 PLUS-F ta-C コーティング技術の主な利点

• 高硬度のta-Cコーティング：工具、金型、精密部品の耐摩耗性を向上させる超硬質フィルムを実現します。
• 清浄で平滑な表面：磁気ろ過により大粒子欠陥やイオンクラスタを低減し、より清浄で平滑な被膜を生成します。
• 高い密着性と高密度：高エネルギーイオン洗浄とろ過堆積により膜の密着性、密度、信頼性が向上します。
• プロセスの柔軟性：プラズマエッチング、ta-C堆積、遷移層の組合せにより用途別のプロセス設計が可能です。

特徴

• 高エネルギープラズマエッチング機能
• 粒子混入を抑える2つの磁気ろ過カソード
• 遷移層オプション：Cr / WC / Ti
• 低摩擦・耐摩耗・耐食性のta-C DLCコーティング
• 生産要件に応じた装置構成、周辺機器、搭載方式のカスタマイズ対応

製品パラメータ
Model No.: TC800 PLUS-F
コーティング技術: Hybrid ta-C DLC coating technology
エッチング: WET Lateral Hot Filament Etching
寸法: L4950 × W3400 × H2600 mm
チャンバー容積: 1 m³
有効コーティング領域: Φ650 × 400 mm
最大使用温度: 200°C
エンドミル搭載量（D4×50L）: 2400 pcs
最大搭載質量: 350 kg
サイクルタイム: 3–6 h（レシピ・製品により異なる）
電圧: 3×380/220V (3L+N+PE)
消費電力: 50 kW

用途

• 切削工具（エンドミル、マイクロドリル、インサート）
• 金型・ダイ
• 自動車部品
• 医療機器・精密部品

FAQ（抜粋）

• TC800 PLUS-F は何に使われますか？ 刃物、金型、自動車部品、医療機器、精密部品向けの高硬度・低摩擦なta-C DLC被覆の製造です。
• どのような被覆が可能ですか？ 磁気ろ過されたta-C DLC被覆で、高硬度、平滑な表面、強い密着性、優れた耐摩耗性を実現します。
• サイクルタイムは？ レシピや製品により約3〜6時間です。
• 搭載容量は？ 最大搭載質量350 kg、有効被覆領域 Φ650 × 400 mm、チャンバー容積1 m³です。
• 磁気ろ過の目的は？ プラズマビーム中の大型粒子やイオンクラスタを取り除き、より清浄で高密度・高密着のta-C膜を得るためです。
• カスタマイズは可能ですか？ はい。装置構成、オプション、搭載方法、コーティングレシピは生産要件に合わせて調整可能です。

技術仕様

• モデル: TC800 PLUS-F
• コーティング方式: Hybrid ta-C DLC（イオン源 + マグネトロン + 磁気ろ過）
• エッチング方式: WET Lateral Hot Filament Etching
• 動作温度: 最大 200°C
• 電源: 3×380/220V (3L+N+PE), 50 kW
• 物理寸法: L4950 × W3400 × H2600 mm、チャンバー 1 m³