概要TC800 PLUS は、高硬度・低摩擦の ta‑C(DLC)コーティングを必要とする製造業向けに設計された工業用コーティング装置です。プラズマエッチング、マグネトロンスパッタ、アークイオンプレーティングを統合し、切削工具、金型、自動車部品、医療機器、精密部品向けに生産対応の ta‑C コーティングを提供します。
主な利点- 短いサイクルタイム:典型的な処理時間は3~6時間で、生産性向上と1部品当たりコスト低減に寄与します。
- 高硬度・低摩擦:ta‑C コーティングにより耐摩耗性、工具寿命、表面品質が向上します。
- 工程統合:プラズマエッチング、遷移層、ta‑C 堆積を一台で行い、高い密着性と安定した結果を実現します。
- 生産性に適した信頼性:コンパクトな据付面積、安定出力、低い運用コストを実現します。
機能- 処理時間(典型):3~6時間。
- 最大搭載重量:500 kg。
- 電源/カソード構成:3 Arc + 1 Cathode(ta‑C 堆積用のアーク+マグネトロン構成)。
- プラズマエッチングと遷移層により高い密着性を実現。
- 低摩擦の ta‑C コーティングで摩耗を低減。
- 密着性や特性を調整するための遷移層(Cr / WC / Ti)オプション。
- 高スループット生産に適した安定出力。
用途仕様- 型番:TC800 PLUS
- コーティング技術:プラズマエッチング + マグネトロンスパッタ + アークイオンプレーティング
- エッチング:WET Lateral Etching
- 寸法:L3750 × W1800 × H2300 mm
- チャンバー容量:1 m³
- 有効コーティング面積:Φ650 × 400 mm
- 最大使用温度:200°C
- 積載数:2400 pcs, D4 × 50L
- 最大搭載重量:500 kg
- スピンドル直径:Φ130 mm