複屈折測定システム Exicor® PV-Si

赤外線堅牢

Si太陽電池の製造工程では、Si結晶の応力が検出されないまま長い時間が経過することがよくあります。ハインズでは、ウェハーに加工される前のSiインゴット（角材または成長したままのもの）を測定するための応力複屈折計を開発しました。この装置をQCツールとして使用することで、低品質のSiインゴットやセグメントを、その後の処理コストが発生する前に特定することができます。また、Si結晶の生産者には、Siインゴットの品質を向上させ、機械的歩留まり低下の少ない薄型のウェーハを生産するためのツールを提供します。 ハインズ社の近赤外Exicor®複屈折測定システム500Siインゴットは、Exicor複屈折測定システムファミリーの主力製品であるプラットフォームを拡張したものです。このシステムは、高品質で対称的な光弾性変調器、1550 nmレーザー、Geアバランシェフォトダイオード検出器を採用し、太陽光発電や半導体産業で使用されているSi材料の高精度複屈折測定を可能にします。また、Si以外にもサファイア、シリコンカーバイド、セレン化亜鉛、硫化カドミウムなどの測定も可能です。500Siインゴットモデルは、堅牢で汎用性が高く、長さ500mmから直径8インチまでの生のインゴットを保持し測定できるように設計されています。また、直感的に操作できる自動スキャンソフトウェアにより、Siインゴットやその他のハイテク材料の材料改良、研究開発、日常的な評価に最適な製品となっています。 特徴 低複屈折測定において、かつてない高感度を実現 複屈折の大きさと角度を同時に測定可能 高精度な再現性