150ATは、Exicor®複屈折測定システムファミリーの主力製品です。 このシステムは、製造現場と研究開発ラボの両方の環境で優れた性能を発揮する汎用性を備えています。 このモデルは、リソグラフィー用レチクル、DVDブランク、プラスチックフィルム、レンズブランク、レーザー結晶、携帯電話のディスプレイウィンドウ、射出成形部品など、さまざまな部品の測定に広く産業界で使用されています。 ベンチトップ設計と直感的な自動スキャンソフトウェアにより、小型部品(150 mm x 150 mmまで)の評価を日々行うための最適な製品となっています。
測定レンジは2種類(高感度、拡張レンジ)から選択でき、アプリケーションの厳しい要件に対応することが可能です。 オプションの高速スキャンパッケージにより、高空間分解能スキャン(グリッド間隔1mm未満)が実用化されます。 また、オプションの手動または自動チルトステージを追加することで、薄い試料の非正規アクセス測定や特定のパラメータ(Rthなど)の計算に評価を拡張することができます。
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