電子機器用ウェーハエッチングマシン IM-150

マイクロエレクトロニクス産業

エッチング高レートと低レート制御が可能 自転＋傾斜するウェーハホルダー 豊富なチャック方式を選択可能 コンパクトなフットプリント 終点検知システム装備（ロードロック有にオプション適用） 主な用途 エレクトロニクスデバイス、MEMS製造用、微細加工研究、開発、試作、小量産用途など 小型立体個体物へのイオン照射など 装置評価 お客さまの用途に合わせたサンプル処理を初回無償で提供します。 ウェーハサイズ、処理枚数などについては当社までお問い合わせください。