ウェーハエッチングマシン IML-5-1

エッチング高レートと低レート制御が可能 フィラメントレスµ波ニュートラライザ（オプション） EPD(終点検知器）取付（オプション) 反応性ガス対応(オプション) フィラメントレスRFバケット型イオン源(オプション) 主な用途 MEMSの電極微細加工、高周波フィルターや化合物半導体の配線・電極加工、磁気センサーなどの微細パターン／形状加工など 装置評価 お客さまの用途に合わせたサンプル処理を初回無償で提供します。 ウェーハサイズ、処理枚数などについては当社までお問い合わせください。