リニアモータ駆動リニア軸

精密クリーンルーム用

概要 リニアモータ軸（測定ヘッド付きコイルユニットを固定し、測定システムで磁気トラックをスライド移動させます 光学系の位置決め用 要求事項 クリーンルームでの使用 ISOクラス100 - ケーブルに摩耗や摩耗がないこと 週7日の3交代制での使用 非常に高い機械的精度 温度安定性: 22°C ±2 実施の様子 すべてのスライドのための共通の循環型リニアボールベアリング ガイドの熱膨張係数に応じて選択されたベースプレート材 構造とドライブは互いにオフセットされており、全長を最適化します。 仕様 加速度：最大 3.000 mm/s 速度: 400 mm/s スライドあたりの高さの誤差: ≤1 µm スライドあたりの横方向の誤差: ≤1 µm スライド同士の最大高さ誤差。100 µm 最高。 圧延の間違い、ヨーイングの間違い、 lufting の間違い: ≤±100 の µrad ストローク50mm（それ以上の可能性もあります 分解能測定システム0,05 µm (50 nm) 移動方向の再現性<0,5 µm