リニアモータ駆動リニア軸

サーボ モーター精密

高精度な精密軸を持つ花崗岩ビームを採用しています。システム全体には、各種フィールドバス（EtherCAT、Profinet、CAN、...）用のサーボコントローラが含まれています。この軸は、ウェハ検査、スキャナ、測定に適した測定などの高精度アプリケーション向けです。 - 高精度な軸を持つ御影石梁 - 各種フィールドバス（EtherCAT, Profinet, CAN, ...）に対応したサーボコントローラを含む完全なシステム - 高精度アプリケーション（ウェハ検査、スキャニング、測定）用 要求事項 - 機械フレームへの全面実装 - エネルギーチェーンと組み立てられたケーブルセットを含む - 組立・試運転済みの軸システムとして納入 - 2K恒温での精度保証 実施の様子 - 顧客固有の要件に合わせて開発 - 精密レールガイド付きアイアンレスリニアモータ 速度: 最高 500 mm/s 加速度：最大1m/s² 再現性：0.5μm 位置決め精度：5μm 位置決め分解能0,1 µm 繰り返し性（側面）：5μm 繰り返し精度（高さ）：1μm 荷重：最大1 kg