光学式検査機 7100 series

表面用ハードディスク装置エレクトロニクス産業用

Candela 7100シリーズは、ハードディスクドライブの基板やメディアに対して、高度な欠陥検出と分類を提供します。HDD用欠陥検出・分類システム「7100シリーズ」は、生産実績のあるCandela製品群をベースに、マイクロピット、バンプ、パーティクル、埋没欠陥などの重要なサブミクロン欠陥の検出と分類を行い、歩留まりの最大化と総検査コストの低減を実現します。 キャンデラ7100シリーズは、ハードディスクドライブ基板とメディア用に特別に設計された欠陥検出・分類システムです。高出力2波長レーザーは、現在注目されている欠陥（DOI）の課題に最適化されており、マルチチャンネル散乱検出器は、あらゆる基板上のサブミクロンのピット、バンプ、粒子、埋没欠陥を分類するための感度を向上させています。7100シリーズ欠陥検査装置の性能と安定性により、1つのプラットフォームを複数のプロセス制御アプリケーションポイントに使用することができ、欠陥を調査して根本原因を特定するための原子間力顕微鏡、走査電子顕微鏡、透過電子顕微鏡などのツールや手法への依存を低減します。 特徴 フルディスク欠陥マップにより、金属、ガラス、基板、メディア上のHDDサブミクロンのピット、バンプ、パーティクル、埋没欠陥を検出および分類 欠陥の分類と実用的なデータ出力を備えたフルディスクマップにより、結果を得るまでの時間を短縮します。 オフライン検査技術（AFM、SEM、TEMなど）への依存度を低減し、総所有コストを削減します。 手動（7110）または全自動（7140）のいずれかの構成で利用可能。