光学式検査機 Candela® 6300 series

表面用ハードディスク装置エレクトロニクス産業用

キャンデラ社の6300シリーズ光学式表面分析装置は、金属やガラスのデータストレージ基板や完成したメディアに対して、高度な計測・検査機能を提供します。データストレージメーカーは、ヘッドフライハイトをさらに小さくすることでデバイスの記憶容量を向上させようと努力しており、ディスク表面の粗さをコントロールすることがますます重要になってきています。6300シリーズの光学式表面分析装置は、業界で最も広い空間帯域幅（0.22～2000μm）とサブオーダーのノイズフロアを活用し、包括的な粗さと微小な凹凸の測定に対する要求を満たしています。 キャンデラ6300シリーズは、特許取得済みのマルチチャンネル光学系と独自のレーザー安定性管理技術により、エッジロールオフ、テクスチャー/ポリッシュ均一性、HDI特性、スクラッチ/パーティクル検査などの強力な光学表面測定機能を提供します。この検査・計測システムの最先端の光学スキャン技術により、半径方向と円周方向の全面ディスクトポグラフィー計測が可能になり、メーカーは1つのツールで全空間スペクトルを計測できるようになりました。レーザー出力の向上、ノイズフロアの低減、新しい光学設計により、欠陥検出のためのガラス基板のスパッタリングが不要になり、<0.1Åの粗さ変化を識別できるようになりました。 6300光学表面分析装置と散乱計やレーザードップラー振動計システムなどの他のシステムを比較すると、6300シリーズは、半径方向と円周方向のデータ、および超平滑基板とメディア上の高速でフルサーフェストポグラフィー情報に対する最適なソリューションである。