チャンバー炉

焼結熱処理電動

当社のボトムローディング式焼結炉は、電子部品の高温焼結用に設計されています。サイクルは雰囲気準備、加熱、強制冷却、制御酸化から構成されます。この炉の使用可能ゾーンは直径12インチ x 高さ22インチ (305mm x 559mm)で、大量バッチ処理に適しています。 この炉は2つのチャンバーを備えており、下部チャンバーは装入・取出し、冷却、制御酸化、上部チャンバーは高温焼結を行います。両チャンバーの雰囲気は隔離されており、電動リフトが装入物スタックをボトムチャンバーから加熱チャンバーに移動させます。 ホットゾーンはタンタルまたはタングステンで2100℃まで可能です。 高スループットの10″または16″拡散ポンピングシステムは、製品加熱中に通常見られるロードのアウトガスに対応します。 直感的なカスタマイズされたHMIインターフェースが、最初から最後まで完全に自動化されたサイクルを実行します。 一般仕様 ホットゾーン サイズ 直径12インチ x 高さ22インチ (305 mm x 559 mm) タンタルまたはタングステン加熱ゾーン（他の素材も使用可能） 使用可能ゾーン全体に+/-10℃の温度勾配 下部チャンバーでローディングと冷却、上部チャンバーで焼結。 サイクル終了時の制御酸化 大容量拡散ポンプシステム 10″または16 負荷の急速冷却用ガス熱交換器 正確な負荷移動のための電動負荷リフト コンピューターインターフェースによる完全自動サイクル 詳細 ボトムチャンバー このチャンバーはステンレス製で、二重壁、水冷、電気研磨されています。チャンバドアはヒンジ式で、ローディングエリアに素早く簡単にアクセスできます。ドアを固定するためのクイックアクティングクランプが装備されており、ロードへのアクセスが容易です。