焼結炉

熱処理チャンバー電動

当社の底部荷重焼結炉は、電子部品の高温焼結用に設計されています。 サイクルは、大気の準備、加熱、強制冷却および制御された酸化からなる。 この炉は、直径 12インチ × 高さ22インチ（305ミリメートル × 559ミリメートル）の使用可能なゾーンを有し、大規模なバッチ処理に適しています。 この炉は、2つのチャンバ、ロードおよびアンロードのための底室、冷却および制御された酸化、および高温焼結用のトップチャンバを備えています。 両方のチャンバの雰囲気が分離され、電気リフトが負荷スタックを底部チャンバから加熱室に移動する。 ホットゾーンは、タンタルまたはタングステンホットゾーンで最大 2100 ℃ の温度が可能です。 高スループットの10インチまたは16インチの拡散ポンプシステムは、製品のヒートアップ時に一般的に見られる負荷の排出ガス処理を行います。 直感的にカスタマイズされたHMIインターフェースは、完全に自動化されたサイクルを開始して終了します。