当社の小型トップローディング式焼結炉は小ロット処理に好評です。この炉の標準的なホットゾーンはジアンメーター4×高さ8″で、他のサイズも多数取り揃えています。
この炉の最高温度はタングステンホットゾーンで2500℃、タンタルホットゾーンで2100℃、モリブデンで1650℃です。
ホットゾーンは優れた温度均一性と長寿命を提供します。この炉には、自動運転、プロセス概要、データ収集、アラーム、温度制御用の無制限レシピプロファイル、ユーザーセキュリティなどの機能を提供する直感的なHMI制御パッケージが装備されています。古典的なプッシュボタンやディスクリート制御装置も利用可能です。
仕様
一般仕様
動作圧力:1×10-7 Torr(mbar)~2 P.S.I.G.(0.14 bar)
優れた温度均一性
直径4×高さ8(101mm×203mm)標準、他のホットゾーンサイズも可能
データ取得機能付きHMI制御システム
人間工学に基づいた省スペース設計
TCおよび/またはパイロメーター温度制御
ターボまたは拡散ポンプシステム
詳細
チャンバーとホットゾーン
焼結用途の標準ホットゾーン材料は、タングステン(最高2500℃)またはタンタル(最高2100℃)です。モリブデンやグラファイトのホットゾーンも利用可能です。層状の熱シールドが負荷と発熱体を囲み、電力損失を低減します。試料または部品は、取り外し可能な負荷アセンブリの上に置かれます。負荷アセンブリは、材料適合性が懸念される場合には、ホットゾーン材料から製造されます。
トップローディング式ホットゾーンチャンバーは円筒形で、二重壁のステンレス鋼から製造されます。チャンバー全体は溶接され、真空の完全性と外観のために研磨されています。
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