焼結炉

焼きなましろう付けチャンバー

当社の2ステーション焼結炉は、ボトムローディング焼結炉に基づいていますが、同時に2つの負荷を処理することができ、本質的に同じフットプリント内のスループットを2 倍にします。 当社の焼結炉は、電子部品を高温で焼結または熱処理するために電子産業で広く使用されています。 サイクルは、大気の準備、加熱、急速冷却および制御された酸化からなる。 2ステーション炉は、底部チャンバ内の第 2の負荷を冷却しながら、熱チャンバ内の1つの負荷を加熱することにより、2つの負荷を同時に処理する。 この炉は、直径 12インチ × 高さ22インチ（305ミリメートル × 559ミリメートル）の使用可能なゾーンを有し、大規模なバッチ処理に適しています。 炉は、2つのチャンバ、ロードとアンロードのための底室、冷却および制御された酸化、および焼結用のトップチャンバを備えています。 両方のチャンバーの雰囲気が分離されています。 電気リフトは、負荷スタックを下部チャンバから加熱チャンバに移動します。 ホットゾーンは、タンタルまたはタングステンホットゾーンで2100 ℃ までの温度が可能です。 高スループットの10インチまたは16インチの拡散ポンプシステムは、製品ヒートアップ時に一般的に見られる負荷アウトガスを処理します。 直感的にカスタマイズされたHMIインターフェースは、完全に自動化されたサイクルを開始して終了します。