当社の小型ボトムローディング炉は、ラボ環境と生産施設の両方で幅広い用途のお客様を魅了しています。当社の炉はすべて完全なターンキーシステムで、特定の用途ニーズに合わせてカスタマイズすることができます。数種類のホットゾーン材料と温度範囲、および様々な真空とガスシステムオプションが利用可能です。当社の基本システムには、ホットゾーンのPID温度制御のためのTCまたはパイロメーターフィードバックを備えた電源装置、チャンバー雰囲気制御のための粗真空システムおよび不活性ガスシステム、冷却のための水システム、および搬出入のための電動リフトシステムが含まれます。すべてのサブシステムは、安全で信頼性の高い操作のためのインターロックで統合されており、出荷前に広範なテストが行われます。
仕様
ホットゾーン・サイズ:直径8インチ×高さ14インチ(直径203mm×高さ356mm)
+/- ゾーン全体の温度勾配±10
搬出入用電動リフト
粗真空および不活性ガスシステムを含む
高真空システム、可燃性ガスシステム、その他オプションあり
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