チャンバー炉 T-16

ガス真空不活性ガス

ホットゾーンのサイズは直径16インチ×高さ16インチ（406mm×457mm）または直径16インチ×高さ24インチ（406mm×610mm）。 T-16～T-22トップローダーは、大口径の装入物や揮発性のプロセスガスを安全に除去するためのオプションのレトルトに対応できるよう設計されています。オプションのHMIソフトウェアにより、シーケンスの自動化が可能で、バッチ生産に適しています。 一般仕様 ホットゾーンのサイズ：直径16インチ x 高さ16インチ（406 mm x 457 mm）または直径16インチ x 高さ24インチ（406 mm x 610 mm）。 +/- ゾーン全体の温度勾配±10℃。 粗真空および不活性ガスシステムを含む 高真空システム、可燃性ガスシステム、その他オプションあり。