チャンバー炉 T-22

ガス真空不活性ガス

ホットゾーンのサイズは直径22インチ x 高さ24インチ (559 mm x 610 mm) T-16からT-22までのトップローダーは、大口径の装入物や、揮発性のプロセスガスを安全に除去するためのレトルト（オプション）に対応できるよう設計されています。オプションのHMIソフトウェアにより、シーケンスの自動化が可能で、バッチ生産に適しています。 一般仕様 ホットゾーンのサイズ：直径22インチ×高さ24インチ（559mm×610mm）。 ゾーン全体に+/-10℃の温度勾配。 粗真空および不活性ガスシステムを含む 高真空システム、可燃性ガスシステム、その他オプションあり。