フィルム用厚さ計 capaNCDT TFG6220

薄物用卓上型静電容量式

概要
静電容量式厚さ測定システムTFG6220は、バッテリーフィルム等の導電性フィルムの厚さを高精度で測定します。外部の真空装置が試料を保持・平滑化し、しわのない参照面を提供します。本体は組立済みで、オフラインのランダムサンプルによる品質検査向けに設計されています。

特長

• フィルムの真空平滑化によりしわを除去し、再現性のある位置決めを確保
• 上下一対の静電容量センサを備えた測定ブラケットと、簡易参照用の測定インサート
• データ取得と表示は sensorTOOL（Webインターフェース）で行えます

用途
導電性フィルムのオフラインでの迅速な厚さ検査（品質管理、工程モニタリング）、例：バッテリーフィルム。

仕様（主要項目）

• 分解能：10 nm
• 再現性：1 µm
• 測定可能膜厚： < 1 mm
• 測定原理：2つの静電容量センサの補償による厚さ算出
• サンプル処理：外部真空装置による平滑化およびクランプ
• 構成：組立済み、すぐに運用可能
• ソフトウェア：sensorTOOL による表示・設定