トランスレーションポジショニングステージ E-HEX-90

回転リニアモータ駆動6脚

特徴高精度、組み立て可能、カスタマイズ可能、ライト開口部460mm コンパクトで堅牢なステージで、一貫した信頼性の高い動作精度を実現 超微細な位置決め分解能と十分なペイロード能力を備えています。 利用可能なスペースが限られている場合、複雑な多自由度モーションを必要とするアプリケーションに最適です。半導体テストウェハーのレベリングに適しています。光学検査、大口径中空アパーチャー調整光路のアプリケーションシナリオ。