ウェハー用検査機 NovusEdge®

産業用包装産業用欠陥

NovusEdgeシステムは、ウェハのエッジ、ノッチ、裏面を高速かつ確実に検査するためのモジュール構成が用意されています。 製品概要 NovusEdge システムは、現行ノードおよび先端ノード用のベア・アンパターン・ウェーハのエッジおよび裏面を高感度で検査することができるシステムです。複数のモジュールを同じ自動化プラットフォーム上に構成することで、スループットを向上させながら、小さなフットプリントを維持し、所有コストを改善することができます。自動化プラットフォームと検査モジュールの両方にエッジグリップハンドリングソリューションを採用し、ウェハ製造に必要なクリーン度を実現します。オプションで高感度ノッチ検査を追加することができます。検出された欠陥は、実行時に自動的に分類され、ビニングされるため、オペレーターによる手動レビューが軽減されます。 本装置は、300mm未パターンウェーハの出荷品質検査を行うエンドオブライン用の多目的検査・選別装置として設計されています。本システムは、自由に定義可能なレシピに従って、ウェハーの識別、検査、およびソートを行うことができます。 用途 - ウェハー製造現場における未パターンウェーハのインプロセス検査。 - サブアセンブリーやテストプロバイダ、集積デバイスメーカー、ファウンドリーでの未パターン化ウェハの受入検査。 - テストウエハーと連動したプロセスツール認定およびモニタリング。 仕様 - サブミクロンオーダーのエッジ感度 - ナノレベルの裏面感度 - フルカバレッジノッチ検査 - ヘイズ - ソーティング機能 - 柔軟なツール構成 - 自動欠陥分類（顧客定義可能な欠陥クラス