回転ポジショニングステージ A-63x PIglide RL series

電動式多軸精密

モーションプラットフォーム直径 低背 偏心と平面度 < 100 nm 磁気予圧による静止時の自己ロックオプション 製品概要 PIglide RLシリーズの直接駆動式薄型回転ステージは、薄型設計で最高の精度を実現します。様々なオプションを組み合わせることにより、ポイントツーポイントインデキシングや等速スキャニングに理想的なソリューションを作り出すことができます。RLステージは、優れた移動精度、平面度、ふらつき性能を提供します。 3相トルクモーター ブラシレス スロットレス 低コギングトルク アブソリュートエンコーダ（オプション） アブソリュートエンコーダは、位置の即時決定を可能にする明確な位置情報を提供します。つまり、スイッチオン時に参照する必要がないため、運転中の効率と安全性が向上します。 アクセサリーとオプション インクリメンタルまたはアブソリュートエンコーダ 真空フィードスルー 磁気予圧による静止時のセルフロック ご要望に応じてクリアアパーチャー PIglideフィルターおよびエア供給キット 単軸または多軸モーションコントローラおよびサーボドライブ 多軸/カスタマイズセットアップ 花崗岩製のベースプレートと振動低減システム 応用分野 光学アライメント、ウェハー検査、ウェハーアライメント、測定技術、検査システム、キャリブレーション、スキャニング 摩擦のない動きにより、パーティクルが発生しないため、PIglideステージはクリーンルーム用途に理想的です。