回転ポジショニングステージ A-68 series

電動式多軸精密

- 直径365mmモーションプラットフォーム、直径260mmアパーチャー - 偏芯および平面度 < 300 nm 製品概要 PIglide RLAシリーズの直接駆動回転ステージは、超高精度用に設計されています。薄型で大きなクリアアパーチャを持ちます。RLAステージは、優れた移動精度、平面度、ふらつき性能を提供します。 3相トルクモーター ブラシレス 低コギングトルク アブソリュートエンコーダ（オプション） アブソリュートエンコーダは、位置の即時決定を可能にする明確な位置情報を提供します。そのため、スイッチオン時に参照する必要がなく、運転中の効率と安全性が向上します。 アクセサリーとオプション インクリメンタルまたはアブソリュートエンコーダ PIglideフィルターおよびエア供給キット 単軸または多軸モーションコントローラおよびサーボドライブ 多軸/カスタマイズセットアップ 花崗岩製のベースプレートと振動低減システム 応用分野 トモグラフィ、ビームラインシステム、ウェハ計測、ウェハ検査、計測技術、検査システム、キャリブレーション、スキャニング 摩擦のない動きにより、パーティクルが発生しないため、PIglideステージはクリーンルーム用途に理想的です。