回転ポジショニングステージ RS-40 V7

電動式単軸精密

10-7 hPaまでの真空に対応 無制限の移動範囲 繰り返し精度87 µrad 20 mm Ø アパーチャー 基準スイッチ 標準クラス回転ステージ ウォームドライブ開口部20 mm Ø. 基準スイッチ. 特に真空環境での使用に適したアウトガスの低減 ガイドとスピンドルの潤滑には、特にアウトガスの少ない材料を使用しています。これにより、80℃までのベークアウトが可能です。 高真空環境での用途に適した高品質 この場合、モーター、測定システム、リミットスイッチなど、高真空に適した特別な部品が使用されます。さらに、表面はコーティングされていないアルミニウム製で、スピンドルとガイドはステンレス製です。これにより、PI V7真空クラス、つまり10-7 hPaまで到達します。 駆動 ギアヘッド付きステッピングモーター。 応用分野 真空チャンバー研究ビームライン装置顕微鏡電子機器の組み立てと検査