XY軸ポジショニングステージ H101A series

リニア電動式2軸

H101A ProScan™ ステージは、ほぼすべての顕微鏡や光学システムに適応できます。 H101Aステージでは、試料を自動的にスキャンし、後で回収および検査を行うためのポイントを保存し、比類のない再現性を備えることで、労働効率を高めることができます。 H101Aは、ラスタ、ヘビ、ランダムパターンを含むあらゆる種類のパターンの、スライド、マイクロタイタートレイ、半導体ウェーハ、または冶金試料のスキャンまたは検査に最適です。 また、H101A ProScan™ ステージには、特許取得済みのインテリジェントスキャンテクノロジー（IST）が組み込まれています。 広範なテストと組み合わせて、インテリジェントスキャンテクノロジー（IST）を使用すると、各段階に固有の動作特性セットを事前にプログラムし、最適な性能を確保できます。 IST（H107およびH117モデルでも利用可能）により、ProScan™ IIIコントローラは、優れた直交精度とメトリック精度を維持するために必要な調整を行うことができます。