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大型サイズポジショニングステージ H116XY軸モーター式2軸
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特徴
- 方向
- XY軸
- タイプ
- モーター式
- 軸の数
- 2軸
- その他の特徴
- 産業用, 顕微鏡, ロングレース用, 重荷重用, はめ込み式ステッピング モーター付, 大型サイズ, ボールねじ
- ストローク
最大: 256 mm
(10.079 in)最少: 215 mm
(8.465 in)- 速度
40 mm/s
- 繰返し精度
2 µm
- 積載量
最大: 25 kg
(55.12 lb)最少: 0 kg
(0 lb)
詳細
H116ステージは、ほとんどの大型顕微鏡に対応し、8インチ（200mm）ウェーハや各種大型サンプルを容易に搭載できるため、半導体ウエハー、フォトマスク、フラットパネルディスプレイ、プリント基板など、幅広い分野のスキャンに最適です。
• 主要メーカーのマイクロスコープに対応
• 1 μm以上の繰り返し精度
• 静粛性・信頼性
• 豊富なウエハーホルダー。
• 255 mm x 215 mm（10インチ x 8.5インチ）の移動量
カタログ
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