真空炉 Vector UHV

チャンバー熱処理ろう付け

製品概要
Vector UHVは、真空遮断器や真空遮断器付の電気スイッチ部品の真空ろう付けに特化した水平型単室真空炉です。超高純度プロセス向けに設計され、汚染を最小限に抑えるためにクリーンルーム内で組み立ておよび試験を行います。

仕様

• 水平単室構造、モリブデン製加熱ゾーンによる高純度処理対応
• 高真空／超高真空を実現するターボ分子ポンプを採用
• サーミスタではなくサイリスタ制御による6つの温度制御ゾーンで精密な温度管理
• 外部ガス急冷システム（急冷ガス：窒素またはアルゴン）
• 操作性を考慮したコンピューター制御・監視システム
• 標準チャンバー寸法：600×600×900 mm および 1000×1000×1200 mm

利点

• 真空が保護およびプロセス雰囲気として機能し、反応性プロセスガスとその排出を不要にする
• 真空プロセスに由来するCO₂排出はなく、真空サイクルに化石燃料を使用しない
• 冷却ガス（N2またはAr）は回収して大気に戻すことができ、環境負荷を低減
• 強化された断熱により電力消費を削減（約20%）
• IE3クラスのモーター、インバータ制御、エネルギー管理アルゴリズム等による高いエネルギー効率
• ポンプ・加熱・冷却の消費を最適化するシステムとアルゴリズム
• 焼入れ変形の低減と後工程の加工コスト削減；熱処理後の洗浄が不要となる場合が多い

プロセス

• 電気スイッチ部品の真空ろう付け（例：真空遮断器、VCB）

対象産業

• 電気機器産業
• エネルギー産業
• 電力分野

オプション / 寸法

• 標準構成は2タイプ：コンパクト型と大型炉；その他寸法は要問い合わせ
• 大型機は温度均一性向上と積載量増加のために中央加熱素子を追加可能

技術仕様

• 型式：Vector UHV（水平単室真空炉）
• 加熱ゾーン材質：モリブデン
• ポンピング：高／超高真空を得るためのターボ分子ポンプ
• 標準チャンバー寸法：600 × 600 × 900 mm および 1000 × 1000 × 1200 mm（他寸法は要相談；大型は追加加熱素子を含む場合あり）
• 積載重量／容量：標準 600 kg；600×600×900 mm は追加加熱素子なしで約 200 kg；大型構成は 1200 kg（追加加熱素子で最大 1500 kg）
• 温度均一性：±3 °C
• 到達真空度：≤ 8 × 10⁻⁸ mbar
• 850 °Cでの動作真空：約 1 × 10⁻⁶ mbar
• 漏れ率：約 1 × 10⁻⁴ mbar·L/s
• 急冷圧力：1 bar abs.
• 急冷ガス：N2、Ar
• 加熱制御：サイリスタ制御の6ゾーン
• 制御：オペレータ向けインターフェースを備えたコンピューター制御システム