窒素分析器 DF-750

酸素水素監視用

DF-750は半導体産業における水分分析の第一人者です。 DF-750は、300mm半導体工場で使用される超高純度（UHP）ガス中の測定用に最適化された微量/超微量水分計です。 高安定TDLトレース/ウルトラトレース測定 妥協のないソリューション シンプルなメンテナンスと継続コストの削減 DF-750は、さまざまなUHPガス中の微量/超微量水分測定用に特別に設計されており、300mm半導体ファブ向けに最適化されています。エレクトロニクスグレードの窒素、水素、ヘリウム、アルゴン、酸素ガス中の汚染物質としての水分を測定します。 チューナブル・ダイオード・レーザー（TDL）センシング技術は、業界をリードする100pptの検出下限（LDL）を実現し、DF-750の安定した高精度測定が半導体製造の精密なモニタリング・ニーズを満たすことを保証します。 堅牢なDF-750は、生涯メンテナンスの必要性が低く、ゼロドリフト安定性を実現し、校正間隔を大幅に延長します。この低コストと卓越した測定性能により、DF-750はUHPガスの品質チェックに最適な分析ソリューションです。 高安定性TDLトレース/ウルトラトレース測定 DF-750は、世界中の半導体メーカーが求める卓越したガス純度基準を満たすように設計されています。最先端のTDLセンシングテクノロジーを採用し、堅牢で弾力性のあるヘリオットセルに収納されたDF-750は、光学センシングコンポーネントとの水分接触を回避します。その結果、DF-750は超高感度、高感度の分析計となりました。