酸素分析器 DF-760E ULTRA

品質管理用湿気記録

DF-760E ULTRA は、UHP ガス用の水分/酸素デュアル分析計です。 コンパクトなDF-760E NanoTrace ULTRAは、微量および超微量水分（H2O）と酸素（O2）のデュアル測定が可能な優れたソリューションです。 安定性の高いTDL微量/超微量測定 妥協のないソリューション 簡単なメンテナンスと継続コストの削減 DF-760E ULTRAは、微量水分と微量酸素を同時にモニタリングするコンパクトな統合ソリューションで、集積回路基板の製造に使用されるUHPバルクガスのモニタリング用に設計された分析計です。 Servomexの非消耗性クーロメトリックセンサーと堅牢なTDL (Tunable Diode Laser)技術の業界をリードする特性を一つのコンパクトなユニットに結合したDF-760E ULTRAは、窒素(N2)、水素(H2)、ヘリウム(He)、O2及びアルゴン(Ar)のバックグラウンドガスブレンド中の超低汚染レベルのH2OとO2を測定する（O2中のH2Oのみ）。 DF-760E ULTRAは、業界をリードする55ppt (H2O)と45ppt (O2)という非常に低い検出下限値(LDL)を提供し、高速応答、卓越した安定性、微量酸ダメージからの耐性を備え、半導体FABアプリケーションにおける品質チェックとリーク検出に理想的です。 この比類なき測定性能は、継続的な校正を必要としない弾力性のあるゼロドリフト・センシング技術による低メンテナンス設計によって支えられています。 集積回路基板の製造において、エレクトロニクスグレードのUHPガスの品質管理は極めて重要です。