酸素分析器 NanoChrome

二酸化炭素炭素メタン

ナノクロムはUHPガスの超微量測定を実現 NanoChromeは、最新のガスセンシングと信号処理技術を取り入れ、半導体産業の超微量純度測定に革命をもたらします。 UHPガスモニタ用ソリューションの決定版 妥協のないソリューション 簡単なメンテナンスと継続コストの削減 半導体製造業界向けに特別に設計された高性能分析計NanoChromeは、アルゴン(Ar)、メタン(CH4)、一酸化炭素(CO)、二酸化炭素(CO2)、水素(H2)、窒素(N2)および非メタン炭化水素(NMHC)を、Ar、H2、ヘリウム(He)、N2および酸素(O2)を含む一般的なバックグラウンドガスで、高い信頼性でモニタリングします。 より大きなディスプレイと最新のソフトウエアで更新されたNanoChromeは、Servomexが特別に開発した先進のプラズマエミッションディテクター（PED）センサーと高感度ProPeakソフトウエアを使用する。 NanoChromeのセンシング技術は従来の炎イオン化検出器（FID）と還元ガス検出器（RGD）センシング技術より性能、安定性、安全性、継続的コスト削減の面でかなり有利である。 Servomexの先進的なシグナルリカバーは、特許取得済みのProPeakフィルター法を用いて、信頼できる高感度で選択的な測定を提供する。メタン化器又は可燃性燃料ガスが不要なので、NanoChromeはコスト的にも有利である。