酸素分析器 NanoChrome ULTRA

二酸化炭素炭素窒素

ナノクロムウルトラは、UHPガスの優れた超微量測定を実現します。 半導体産業における超微量純度測定の第一の選択肢である革新的なNanoChrome ULTRAは、ガスセンシングと信号処理手法の最新の進歩を取り入れ、優れた性能を実現しました。 UHPガスモニタリングアプリケーションの決定版 妥協のないソリューション 簡単なメンテナンスと継続コストの削減 半導体製造用に特別に設計された高性能分析計NanoChrome ULTRAは、アルゴン(Ar)、メタン(CH4)、一酸化炭素(CO)、二酸化炭素(CO2)、水素(H2)、窒素(N2)、非メタン炭化水素(NMHC)を、Ar、H2、ヘリウム(He)、N2、酸素(O2)などの一般的なバックグラウンドガスと同時にモニタリングできる信頼性の高い分析計です。 より大きなディスプレイと最新のソフトウエアで更新されたNanoChrome ULTRAは、Servomexが特別に開発した先進のプラズマエミッションディテクター（PED）センサーと高感度ProPeakソフトウエアを採用している。 低コストで高性能 NanoChrome ULTRAのセンシング技術は従来の炎イオン化検出器 (FID) と還元ガス検出器 (RGD) センシング技術に比べ、性能、安定性、安全性、継続的コスト削減の面で大きな利点を提供する。 Servomexの先進的なシグナルリカバーは、特許取得済みのProPeakフィルター法を用いて、信頼できる高感度で選択的な測定を提供する。メタン化剤も可燃性燃料ガスも不要で、NanoChrome ULTRA はコスト的にも有利である。