UHPバルクガスの品質管理アプリケーション用に設計されたコンパクトなDF-760E分析計は、微量および超微量の水分(H2O)と酸素(O2)のデュアル測定が可能なユニークなソリューションです。
高安定性TDL微量/超微量測定
妥協のないソリューション
シンプルなメンテナンスと継続コストの削減
DF-760Eは、微量水分と微量酸素を同時にモニタリングするコンパクトな統合ソリューションで、集積回路基板の製造に使用されるUHPバルクガスのモニタリング用に設計された分析計です。
Servomexの非消耗性クーロメトリックセンサーと堅牢なTDL (Tunable Diode Laser)技術の業界をリードする特性を一つのコンパクトなユニットに組み合わせたDF-760Eは、窒素(N2)、水素(H2)、ヘリウム(He)、O2及びアルゴン(Ar)のバックグラウンドガスブレンド中のH2OとO2の超低汚染レベルを測定する(O2中のH2Oのみ)。
DF-760Eは、100ppt(H2O)と45ppt(O2)という非常に低い、業界をリードする検出下限値(LDL)を提供し、高速応答、卓越した安定性、微量酸ダメージからの耐性を備え、半導体FABアプリケーションにおける品質チェックとリーク検出に理想的です。
この比類のない測定性能は、継続的な校正を必要としない弾力性のあるゼロドリフト・センシング技術によって提供される低メンテナンス設計によって支えられています。
集積回路基板の製造において、エレクトロニクスグレードのUHPガスの品質管理は極めて重要です。
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