この現象は、センサやアクチュエータの設計において非常に重要です。このようなデバイスの完全なモーダル解析のために、PICOSCALE 振動計の測定レーザーをサンプル上で走査し、各ピクセルで振動を測定します。記録されたデータから振動画像が再構成されます。
カプセル化された MEMS の振動を計測
MEMS がシリコンの筐体に収納されている場合、従来の光学的な測定方法では、筐体を開けずにその動的性能を評価することは不可能です。PICOSCALE Vibrometer は、共焦点検出方式を採用した赤外計測レーザーを用いて、モーションセンサーのダイナミクスをシリコン筐体を通して解析します。
TDKグループ企業であるInvenSense社に感謝します。
スマートフォン用スピーカの非健全な共振の特定
スピーカのダイナミックレスポンスを評価することは、さまざまな家電製品の性能を最適化するために不可欠です。ここでは、SmarAct の PICOSCALE Vibrometer を使用して、異なるメーカーの 2 台のスマートフォン用スピーカの応答を解析しました。機械構造の振動モードを直接画像化できるため、振幅スペクトルの不連続性を、スピーカの振動板や筐体の特定の共振に起因するものと推定できます。
振動計による超音波トランスデューサの試験
超音波トランスデューサの性能は、電気パルスによって誘起される機械的な動きを測定することで評価できます。
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