高精度ポジショニングステージ DT65

回転モーター式真空対応

- 真空：HVの全レンジ 10-8 mbarまで - 潤滑油：最大10-8 mbar - 最大ベークアウト温度100°C オプションで設定可能 - 磁性体および低磁性体のバリエーションが可能 - 用途に合わせた材料選択と真空潤滑方式 - チャンバー内の設置状況に合わせた個別対応 - クリーンルーム ISO 14644-1 用バージョン（ご要望に応じてクラス 1 まで対応可能） - コントローラFMC400/450をオプションで提供 小型で高ダイナミックな回転ステージ 製品ポートフォリオの中で最小の真空回転ステージは、その高い動的性能と速度で印象的です。真空および低磁性設計のDT65は、厳しい環境下でのアプリケーションに最適です。そのため、特に研究開発や実験物理学の分野で使用されています。DT65は、要求の厳しい多軸システムに組み合わせることができ、当社のFMC 400/450コントローラーで簡単に制御することができます。 応用分野 研究開発、多軸システムのセットアップ、ビームライン計測、シンクロトロン、材料研究、材料分析、ウェハ検査、半導体品質管理、半導体研究