3Dタッチプローブ WFP

測定用光学式走査

この特許取得済みの触覚・光学式3Dマイクロプローブは、実績のあるWerth Fiber Probe®テクノロジーの応用範囲を3D測定にまで広げます。機械的電気的原理による従来のマイクロプローブと比較して、多くの利点があります。WFP® は破損の影響を受けにくく、プローブボールの直径が小さく（20ミクロン以下）、プロービング力が何倍も小さい（1000分の1ニュートン以下）のが特徴です。Werth Fiber Probe®は、微細形状の測定におけるWerthの特長の一部です。 - 3Dファイバープローブによる測定は、シングルポイントでもスキャニングモードでも実施可能です。 - スキャニングモードでは、特殊なプローブシステムを使用することができ、例えば、あらかじめ設定した輪郭でスパイラルスキャンすることにより、ワーク表面のプロファイルカーブを確実に捕捉することが可能です。 - 内部形状の測定など、角度をつけたマイクロプローブも利用可能です。 - 開口部による測定誤差を回避するために、2球式スタイラスも用意されています（特許取得済み）。 - WFP® 3Dは、Werth VideoCheck® UAのような高精度な座標測定器と組み合わせることで、わずか10分の数マイクロメートルの誤差で測定が可能です。 精度 許容プロービングエラー0.25 µmまで 機能性 画像処理センサー（a) カメラ、b) 照明用LED）と光学距離センサーc) により、ワークe) が動くと、照明されたスタイラス先端d) の水平・垂直方向のたわみが測定されます。ターゲットのたわみ量では、スタイラス先端の正確な位置が機械のスケールシステムの座標と重ね合わされ、測定点として保存されるか、スキャン処理に使用されます。