2Dタッチプローブ WFP

測定用光学式走査

特許取得済みのWerth Fiber Probe® WFP 2D は、数十年にわたりマイクロプローブの業界標準となっており、最小のプロービング力で極めて小さな形状の高精度触覚計測を可能にしています。WFP®はその低いプロービング力により、表面が敏感なワークの光学測定の校正にも適しています。代表的な用途としては、ゴムやプラスチック部品、ゲージ、スピナレット、マイクロギア、噴射ノズルやタービンブレードのマイクロボアなどが挙げられます。 - WFP® はスタイラス先端を直接評価することにより、コンマ数マイクロメートルのプロービングエラーを実現します。 - スタイラスシャフトの曲がりは、測定結果に影響を与えません。 - ファイバープローブの分解能はナノメートルレベルであり、最終的には使用する光学部品にのみ依存します。 - スキャニングモードでは、スタイラスはスティックスリップの影響を避けるため、振動発生装置によって常に動いているため、多くの測定ポイントで幅広い輪郭を記録します。 精度 0.3 µm までの許容プロービングエラー 機能性 画像処理センサー（a) カメラ、b) 結像光学系）を使用し、ワークe) が移動する際にLED c) で照らされたスタイラス先端のたわみ量ΔL を計測します。ターゲットのたわみ量では、スタイラス先端の正確な位置が機械のスケールシステムの座標と重ね合わせられ、測定点として保存されるか、スキャン処理に使用されます。デュアルスフィアプローブf)は、シングルスフィアプローブg)よりも大きなプロービング深さを実現します。