MEMS検査装置 FF35 CT

X 線半導体式3D

FF35 CTは、オプションの2重管セットアップにより、これまでにないCTデータ品質と、中小型部品の検査における最高の汎用性を兼ね備えています。 • １種のX線管または２種のX線管構成で、ラボ用マイクロCTアプリケーションに最高の汎用性を提供 • 225kVマイクロフォーカス管と190kVナノフォーカス管をボタン1つで数秒以内に切り替え可能 • 花崗岩を用いた操作と空調による正確な結果 • ソフトウェアプラットフォームGeminyによる様々なCT軌道とFoV拡張によるアプリケーションの柔軟性 • MPESD = 5.9 µm + L/75 [L in mm]のオプションの計測バージョン • 半導体市場規格に準拠したFF35 CT SEMIバージョンあり • NEW！最大サンプル重量が50kgまでに更新されました。 超小型から中型部品の柔軟な検査が可能です。 コメット・エクスロンのFF35 CT、FF35 CT Metrology、FF35 CT SEMIは、非常に幅広いアプリケーションをカバーしています。研究開発部門における材料試験の改善、プロセス制御の最適化、小シリーズの検査、さらにさまざまな科学的用途に対応します。２種のX線管セットアップにより、高解像度CTシステムは、自動車、エレクトロニクス、航空、材料科学産業における品質保証と研究の可能性を大幅に拡大することができます。 実績のある技術：225kVマイクロフォーカス指向性ビーム管 320Wの高出力と水冷式ターゲットにより、225kVのコメット・エクスロンの指向性ビーム管は、1分以内の迅速なCTスキャンを可能にします。2D動作では、空間分解能は4μmに達します。1回の検査シーケンスでマイクロフォーカス指向性ビーム管とナノフォーカス透過性ビーム管を切り替えることができるため、適用範囲が大幅に広がります。