Brooks instrumentsのステンレススチール製流量計

質量流量: 10 g/h - 27,000 g/h
動作温度: 0 °C - 65 °C
耐圧力: 10 psi - 200 psi

... したパフォーマンスを提供します。 特長 正確なマスフロー測定 正確な密度測定 低質量流量センサパイプによるの100%の流体量（バイパスなし） 独自の光学検出法により、微少流量でも高精度計測が可能 幅広い流量レンジで液体・ガス両方の計測を実行 コプラナーバルブにより、超高速応答時間を実現 マーケットにおける最小サイズかつ最小流量のコリオリメータおよびフローコントローラ 質量流量、体積流量、温度、密度という ...

動作温度: 5 °C - 50 °C
耐圧力: 0 bar - 10 bar
精度: 0.35, 1 %

... シリーズエラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータ デバイス1台で さまざまなガスと流量に対応し、柔軟な対応を実現 1台のデバイスで複数のガスに対応するので、プロセスの柔軟性と生産性が最大限に向上します。ブルックスインスツルメント独自の MultiFlo™ テクノロジーを搭載したGF40シリーズエラストマシールマスフローコントローラ/メータは、多様なガスを使用する、頻繁にガスの種類を変更する、またはガスの測定と制御精度は維持したまま、範囲を再調整する必要のあるシステム、プロセス、施設 ...

体積流量: 0 l/min - 300 l/min
動作温度: 0 °C - 50 °C
耐圧力: 0 bar - 34.47 bar

GF100 シリーズメタルシールサーマル式マスフローコントローラ/メータ 高清浄流路、 卓越した性能、信頼性、繰り返し性 GF 100シリーズメタルシールマスフローコントローラ/メータは、優れた応答速度および繰り返し性で、高清浄度および超高清浄度のプロセスガス供給を実現します。半導体、MOCVD、その他のガス流量コントロール用アプリケーションを想定して作られたGF100シリーズは、高い繰り返し性と安定性能を確保し、業界標準を超える信頼性を提供します。標準のMultiFlo™ ...

体積流量: 0 l/min - 1,000 l/min
動作温度: 0 °C - 65 °C
耐圧力: 0 psi - 1,500 psi

5850E/i シリーズ エラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータ 長期安定性に優れ、生産の的確性を維持 どの製品ラインにも主力製品があります。ブルックスインスツルメントの5850Eと5850iシリーズサーマル式マスフローコントローラは、その条件に当てはまる製品です。数十年に渡って、世界中の数千種類ものアプリケーションでアクティブに使用された実績を持つ本シリーズは、独自の安定した流量センサを備え、現代の要求の厳しい工業生産プロセスに必要な信頼性、精度、繰り返し性の高い測定と ...

体積流量: 0 l/min - 36,000 l/min
動作温度: -14 °C - 65 °C
耐圧力: 310, 100, 70 bar

... 水分など、どんな厳しい条件でも、SLAMfシリーズエラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータなら、実証済みのSLA5800ファミリのメータとコントローラならではの高い精度と長期安定性を実現します。特殊設計のNEMA4X/IP66規格筐体により、高度なデジタル電子部品を保護し、プロセスに不可欠なガス/流体マスフローの安定した正確な測定と制御を行います。 特長 NEMA4X / IP66級の高耐久性筐体 幅広い定格流量 ...

体積流量: 40 l/min
動作温度: 5 °C - 50 °C
耐圧力: 0 bar - 10 bar

... コントロールバルブへの応答に最適化された専用のPIDアルゴリズムを搭載し、セットポイントを任意に変更した場合でも、4800シリーズコントローラは実流量を高速で追従させることができます。オプションのローカルオペレータインターフェース（LOI）は、リモートのセカンダリエレクトロニクスを使わず、デバイスを表示、制御、設定する便利なユーザーインターフェースです。 特長 流量応答時間（セトリングタイム） ...

体積流量: 0 l/min - 50 l/min
動作温度: 0 °C - 65 °C
耐圧力: 0 psi - 150 psi

... シリーズエラストマシールマスフローメータ ターゲット化されたアプリケーション向けのコスト効率の高いガス流量測定 温度や圧力調整が必要なく、長期的に安定した流量測定を行うコンパクトで経済的なマスフローメータが必要なら、5700シリーズのサーマル式マスメータをお選びください。パージガス、プロセス解析、解析フロー測定のニーズを想定して作られており、 タービンメータ、面積式流量計、その他の体積流量計に代わる電子出力信号を備え、コスト効率と安定性に優れています。 特長 測定専用 幅広い流量 ステンレス ...

体積流量: 0 l/min - 300 l/min
動作温度: 0 °C - 50 °C
耐圧力: 7 psi - 90 psi

GF80 シリーズ メタルシールサーマル式マスフローコントローラ/メータ 価値重視のメタルシールアプリケーションの性能基準を向上します。 工業および半導体プロセスでは、性能とコスト効率が不可欠です。GF80 シリーズメタルシールマスフローコントロラ/メータの特長：ブルックスのベストセラー、GF ...

体積流量: 0 l/min - 30,000 l/min
動作温度: 0 °C - 65 °C
耐圧力: 0 psi - 1,500 psi

5850EM シリーズ メタルシールサーマルマスフローコントローラ 実証された長期安定性。高圧アプリケーション向けの超高清浄性能 5850EMシリーズメタルシールマスフローコントローラは、幅広く使用されている5850E & i シリーズ MFCの性能に基づく安定性を備え、清浄環境において高圧ガス流量を測定・制御します。メタルシール設計と電解研磨による接ガス表面により、優れた流量インテグリティを実現し、安定したガス流量を提供するプロセス全体の効率性を向上します。ガス圧の継続監視や再調整が必要 ...

動作温度: 0 °C - 150 °C
耐圧力: 0 psi - 90 psi
精度: 1, 0.35 %

... プロセスガスや気体に対応する清浄度・リークインテグリティの高いメタル流路を備えています。特許取得のIsoSensor™ は、加熱ガスラインやベーキングシステムなど環境温度が上昇する条件にも対応する安定性の高いフローセンサです。IsoSensor™ の優れたドリフト性能により、高温アプリケーションでは起こりがちなゼロ点補正（再調整）や再キャリブレーションの必要性を低下させています。 特長 ...