Bühlerの真空蒸発器

... 概要
LEYBOLD OPTICS DLC 600は、プラズマ強化化学蒸着（PECVD）を用いてダイヤモンドライクカーボン（DLC）膜を光学および熱画像化部品に形成する精密 真空成膜装置です。GeおよびSi基材上のIR（赤外）用反射防止・保護膜として、硬く均一で環境耐性の高いDLC層を生成するよう設計されています。

主な利点

• 幅広い基材対応：重力保持方式により、最大直径300 mm、厚さ約30～40

... 概要
LEYBOLD OPTICS ECS 1350 は、ストックレンズおよび処方（Rx）レンズの大量生産向けに設計された 真空蒸着装置で、反射防止（AR）およびファッションミラーコーティングに対応します。Bühler Leybold Optics の主要コンポーネントと構成可能なモジュールを組み合わせ、24時間365日の連続稼働と競争力のある運用性を実現します。

主な利点

• 所有コストの低減：最適化された構成により、投資および運用

... 概要
BOXER シリーズは、処方（Rx）および在庫（stock）用の眼鏡レンズ向け 真空薄膜コーターです。複数の構成（代表的な BOXER 900、BOXER 1100）で提供され、広帯域反射防止膜、鏡面膜、グラデーション膜などをサポートし、モデルと構成により 8 時間あたり約 270〜700 ペアの生産性を実現します。

主な利点

• 省スペース設計：コンパクトなレイアウトで設置面積を低減し、取り扱いと保守を簡素化。

... 概要
LEYBOLD OPTICS CCS シリーズは、眼鏡レンズ向けの減反膜、ファッション膜、鏡面膜に対応する、コンパクトな 真空薄膜コーティングシステムのシリーズです。モデルと構成により、約8時間で50〜200ペアのレンズを処理でき、小〜中規模のコーティングラボに適しています。

主な利点

• スケーラブルなモジュラー設計：初期投資を抑えて導入し、生産量や製品バリエーションの増加に合わせて段階的にアップグレードが可能です。

... 概要
LEYBOLD OPTICS LTE seriesは、リフトオフ金属化と組み合わせたナノスケールの構造形成向けに設計されたロングスロー 真空蒸着装置です。半導体製造や研究開発向けに最適化され、ほぼ垂直な方向性蒸着で高い膜均一性を実現します。

主な利点

• 最適なコーティング品質：構造化ウェーハ上での高精度コーティング、影響（シャドウ）を最小化し高度な3Dパターンを実現。
• サービスと専門知識：Leybold

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SYRUSpro シリーズは Bühler Leybold Optics による精密光学用 真空成膜装置で、DUV、VIS、IR のスペクトル範囲にわたるフィルタの24/7 バッチ生産向けに設計されています。高スループットかつ要求の厳しい膜付け仕様に対応する、構成可能なプロセスソリューションを提供します。

主な利点

• 過酷な用途に対応：IR、DUV、極端な波長領域に対する厳しい仕様を満たします。