反射防止真空蒸発器 SYRUSpro series

リフレクター

概要
SYRUSpro シリーズは Bühler Leybold Optics による精密光学用真空成膜装置で、DUV、VIS、IR のスペクトル範囲にわたるフィルタの24/7 バッチ生産向けに設計されています。高スループットかつ要求の厳しい膜付け仕様に対応する、構成可能なプロセスソリューションを提供します。

主な利点

• 過酷な用途に対応：IR、DUV、極端な波長領域に対する厳しい仕様を満たします。
• 工程に合わせて構成可能：高品質な主要コンポーネントの豊富な選択肢により、工程要件に応じた構成が可能です。
• 最大の柔軟性：710 mm〜2800 mm の内径を持つ8種類のチャンバーから選択できます。

注目機能

• チャンバーオプション：内径710 mm〜2800 mmの8サイズを用意し、積載量や基板サイズに合わせて最適なチャンバーを選択できます。
• コーティングの選択肢：エッジフィルタ（ショート／ロングパス）、UV/IR カットフィルタ、ノッチ／ナローバンドパス、二色性カラーフィルタ、偏光ビームスプリッタ、レーザー用 AR/HR コーティングなど多数のコーティングに対応します。
• 主要コンポーネントの柔軟性：インシチュ光学モニタリング、プラズマソース、多種の電子ビーム／熱蒸着源、石英晶振測定（QCM）、各種基板ホルダなどで構成可能です。

その他の機能

• 自動化：高いプログラム柔軟性と高度な自動化を組み合わせたプロセス制御で、連続生産の効率を向上します。
• DUV 最適化：193 nm フォトリソグラフィ用の低損失コーティングのため、特別処理したチャンバー表面、選定材料、個別構成のオプションを提供します。
• IR 応用：大量の IR 材料に対応する構成が可能で、平坦および高曲率基板に対して優れた膜性能と均一性を実現します。
• カスタマイズ可能：Bühler Leybold Optics が顧客と協働して、所望の品質、効率、信頼性を満たす構成を仕様決定します。

ダウンロード

• Brochure for Precision optics (PDF)
• Syruspro series 技術データ (PDF)

特性 / 仕様（概要）

• シリーズ / 型式：SYRUSpro
• 用途：24/7 光学フィルタのバッチ生産
• スペクトル範囲：DUV、VIS、IR
• チャンバーサイズ：8 オプション；内径 710 mm〜2800 mm
• 対応コーティング：エッジフィルタ、UV/IR カット、ノッチ、ナローバンドパス、二色性フィルタ、偏光ビームスプリッタ、レーザー用 AR/HR 等
• 構成可能コンポーネント：インシチュ光学モニタ、プラズマソース、電子ビーム／熱蒸着源、QCM、基板ホルダ
• 自動化：連続生産向けの高いプログラム柔軟性を持つ高度なプロセス制御
• DUV 最適化：193 nm 用低損失コーティングのための表面処理および選定材料
• IR 対応：高スループットの IR 材料への対応と平面・曲面基板での均一なコーティング