反射防止真空蒸発器 DLC 600

概要
LEYBOLD OPTICS DLC 600は、プラズマ強化化学蒸着（PECVD）を用いてダイヤモンドライクカーボン（DLC）膜を光学および熱画像化部品に形成する精密真空成膜装置です。GeおよびSi基材上のIR（赤外）用反射防止・保護膜として、硬く均一で環境耐性の高いDLC層を生成するよう設計されています。

主な利点

• 幅広い基材対応：重力保持方式により、最大直径300 mm、厚さ約30～40 mmまで、各種形状・形状の基材を処理可能です。
• IR向け性能の最適化：プロセス条件と材料はGeおよびSi基材に合わせて調整され、赤外域の透過率を向上させ安定した反射防止効果を実現します。
• 耐久性のあるDLC保護膜：非常に硬く均一で環境耐性の高いDLC膜を成膜し、露出している光学面を保護します。

注目機能
プロセスチャンバーとガス分布 — 高い均一性：独自のガスシャワー設計によりチャンバー内のプロセスガスが極めて均一に分布し、基材全域で安定した膜成長と厳密な膜厚制御を実現します。これは夜間視や距離センサなどの低照度・IR用途で重要です。

インシチュ光学モニタリング — 再現性の高い膜積層：統合されたOMS 5100光学モニタリングにより膜成長をリアルタイムで制御し、指定膜厚の許容範囲と高い再現性を確保することで、設計された膜積層と製品仕上がりを一致させます。

仕様（技術情報）

• 成膜技術：プラズマ強化化学蒸着（PECVD）によるDLC膜形成。
• 膜種：ダイヤモンドライクカーボン（DLC） — 高硬度・均一・環境耐性。
• 対応基材：ゲルマニウム（Ge）およびシリコン（Si）、IR反射防止向けに最適化。
• 最大基材直径：最大300 mm。
• 基材高さの目安：約30～40 mm。
• 基材保持：重力保持方式により各種形状への対応が可能。
• プロセス制御：OMS 5100インシチュ光学モニタリングによる膜厚制御と再現性確保。
• ガス分布：優れた均一性を実現する専用ガスシャワー。
• 製品コード：CUBE-00010-019。

代表的な用途

• 精密光学向けIR反射防止コーティング。
• 夜間視装置や熱画像化システム向けのDLC保護膜。
• 赤外波長帯で使用されるセンサや光学部品で要求される耐久性と再現性の高いコーティング。