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ストローク: 50 µm - 240 µm
繰返し精度: 5, 10 nm
... 大口径でハイダイナミ クスを実現 - パラレル・キネマティ クスによる高速応答と高い多 軸精度 - ゼロプレイ、高精度のフレクシャーガイドシ ステム - PICMA®ピエゾアクチュエータによる卓越した寿命 - 66 mm × 66 mmのクリアアパーチャー - 静電容量式センサーによる最高の直線性 - 計測技術 - 干渉計 - フォトニ クス/集積光学系 - ...
Physik Instrumente
ストローク: 100, 400, 800 µm
繰返し精度: 50, 10 nm
... 比べ、格段に速い応答と長い寿命 - サブ nm 分解能での対物レンズの微細位置決め - 静電容量式センサーによる直接位置測定最高の直線性 - Ø 29 mmの大きなクリアアパーチャー 応用分野 - 3Dイメ ージ ング - スクリー ニング - 干渉計 - 測定技術 - オートフォーカスシ ステム - バイオテクノロジー - 半導体検査 PICMA®ピエゾアクチュエーターによる卓越した寿命 PICMA®ピエゾアクチュエータはオールセラミック絶縁です。これにより、湿度やリーク電流の増加による故障からアクチュエータ ...
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ストローク: 100, 200 µm
... み合わせることができ、素早く交換することができます。すべてのサーボとリニアライゼー ションのパラメータは、メカニックのD-subコネクタのIDチップに保存されます。デジタルコントローラのオートキャリブレー ション機能は、コントローラの電源を入れるたびにこの データを使用します。 生産的なオペレ ーションを迅速に開始するための豊富なソフトウェア MATLAB、NI LabVIEW、およびすべての一般的なオペレーティ ングシ ステム（Windows、Linux、macOS）のサポートにより、事実上すべての環境で ...
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... - 4mradまでの光ビーム偏向 - プラットフォームとミラー間のCTEを調整するための様々な異なる素材 - より高い精度とダイナミ クスのためのパラレルキネマティ クス - サブミリ秒の応答時間 - クローズドループバー ジョンによる直線性の向上 - 優れた温度安定性 応用分野 - 画像処理/安定化 - 光トラッピ ング - レーザースキャ ニング/ビーム ステアリ ング（偏向角大 - ...
Physik Instrumente
繰返し精度: 1 µm
積載量: 4 kg
... します。 XYZシ ステムをセットアップするために、A-143にはブレーキとカウンターバランスを含む垂直取り付けオプ ションが用意されています。 アクセサリーとオプ ション PIglideフィルターおよびエアプレパレー ションキット 単 軸および多 軸モー ションコントローラー 垂直取り付け用ブレーキと空気圧カウンターバランス付きモデル 応用分野 この ステ ージは、計測、検査、ファイバー位置決め、光学位置決め、スキャ ニング、パターン形成など、多くの高精度かつ高ダイナミックなアプリケ ーションに最適です。潤滑不要 ...
Physik Instrumente
ストローク: 5, 2.5 mm
速度: 200 mm/s
繰返し精度: 0.25 mm
... 搭載のエアベアリ ング Zチップ/チルト ステ ージです。パラレルキネマティック多軸シ ステムとして設計され、このプラットフォームは Zおよびチップ/チルトモー ションに使用できます。この ステ ージは、超高精度をミニチュアサイズで提供します。非接触コンポーネントの組み合わせにより、最高の性能、品質、寿命を提供する摩擦のないモー ションプラットフォームが実現しました。 A-523をA-81xまたはA-82xシリーズのコントローラと一緒にご注文いただくと、PIがサーボチュー ニングの最適化を適用した Z ステ ージの設定と配線を ...
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ストローク: max 100.0 µm
... 軸変換シ ステムと2 軸傾斜シ ステムの組み合わせ 直径 17mmの自由中心穴 各 軸の統合プリロード変換： 各方向に最大 100μmチルト：± 2mrad ソリッド ステートフレクチャーヒンジ機械式なし平行四辺形設計 再生 オプ ション: 統合された測定シ ステム 光学 ステ ージは、多くの場合、開放的な中央スペースを必要とします ...
ストローク: 38 mm
速度: 0 m/s - 0.01 m/s
... 電動リニア 軸は、前のXY ステ ージをサポートするように適応可能です。 Z 軸電動 ステ ージのFBレンジは、フレキシブルな電動単 軸になるように設計されており、FB203との基本的な統合が可能です。また、オフセットベース（透過光のFB206）を備えたFB204またはFB205を備えたXY ステ ージ用の簡単な取り付けスタンドを提供します。 ...
