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... ガス種・フルスケール 流量変更が可能。予備品低減など、コスト削減に貢献します。 ワイドレンジ 微少 流量(5SCCM F.S)から大 流量(500SLM F.S.)まで制御可能 高精度 ±1.0% S.P.(セットポイント)保証 高速応答 フルレンジ1秒以内(T98) コンパクトサイズ 面間距離 106mm(50SLM以下、1/4VCR ...
HORIBA STEC
... 10 SCCMから1000SLMのワイドな 流量制御範囲、デジタル・アナログ、 DeviceNet™, CC-Link®、PROFIBUS™, EtherCAT®から選べる通信方式を持つ多様な産業やアプリケーション向けの汎用モデルデジタルマスフローコントローラです。±1.0% S.P.の高精度、フルレンジ1秒以内の高速応答、マルチレンジ/マルチガス機能も兼ね備えています。 選べる通信方式 デジタル/アナログ、DeviceNet™, PROFIBUS®, CC-Link®, ...
HORIBA STEC
流量: 3 l/min - 150 l/min
圧力: 1 bar - 3 bar
... 高温環境（120℃）までの環境で使用できる高温対応デジタルマスフローコントローラです。加温環境での 流量制御を必要とする液化ガスや液体材料の 流量制御に最適。パージ時には、150℃のベーキングが行えます。また、100L/分（N2)の大 流量制御に対応したモデルもラインアップしています。 ±1.0 S.P.の高精度、1秒以内の高速応答を実現しています。 15℃から120℃までの高温環境対応 ...
HORIBA STEC
圧力: 1 bar - 3 bar
... 信頼性のあるサーマル方式の 流量センサーを搭載したマスフローモジュールです。マルチディスプレイ機能、PI機能を搭載し、シンプル・軽量なガスラインを構築します。±1% S.P.の高精度、1.0秒の高速応答。 PI機能搭載 急激な圧力変動においても、安定した 流量制御を可能とする最新のアルゴリズムを搭載し、各ガスラインの圧力制御機能を省くデザインが可能。ガスラインのシンプル化を実現します。 ...
HORIBA STEC
流量: 0 us gal/min - 100 us gal/min
圧力: 1 bar - 3 bar
... 冷却測定方式の質量 流量センサーを搭載した液体用マスフローコントローラ&メータです。 冷却測定方式のセンサー搭載により、センサー部での加温を行わないため、低蒸気圧材料から純水など幅広い液体の 流量計測制御が行えます。 流量制御部には、デッドボリュームが無いメタルダイヤフラム構造のバルブを搭載し、µリッター/分レベルの微量 流量を正確に精度良く 流量制御が行えます。専用の気化器との組み合わせにより、純水や液体材料の気化（ガス化）システムが構築できます。 ...
HORIBA STEC
圧力: 3, 4 bar
... GR-511Fは、静電チャックシステムで固定されたウェーハの裏面を冷却するためのガスを制御することができます。 GR-511Fの安定性と精度は、ウェーハ冷却システムにおけるヘリウムとアルゴンの 流量制御に最適です。 特長 より安定した精度の圧力制御 マスフローセンサー（オプション） 各種フィッティングに対応 RoHS対応 使用例 GR-511Fは、静電チャック装置で固定されたウェーハの裏面を冷却するためのガスを制御しています。 バルブタイプ ...
HORIBA STEC
流量: 0 l/min - 2 l/min
... 信頼性の高いサーマルセンサ、ソレノイドバルブを搭載したオールマイティモデルの高精度アナログマスフローコントローラです。10 SCCMから200SLMまでのワイドな 流量制御範囲く幅広い産業でお使いいただけます 広範囲な 流量制御：0.2SCCM～200SLM(N2) 幅広い用途に対応 一般産業市場において多数の納入実績を誇っています。 ローコストモデルもラインナップ（SEC-E40MK3/E50MK3） ...
HORIBA STEC