手動式配置システム

繰返し精度: 3.9 µm - 4.4 µm
速度: 5 mm/s

... カスタマイズ可能 - 最大650 x 650 mmの大型サンプルの表面検査と膜厚測定に最適 - 繰り返し精度2μmまでの精密測定 - ステッピングモーター駆動による優れたコストパフォーマンス - 20kgまでのセンサーに対応する強力で堅牢なZ軸 - 粉塵、煙などの産業環境に最適 この検査システムは、50 kgまでの大型で平坦な試料の自動品質管理用に特別に設計されています。この位置決めシステムは、非常にコンパクトな設置面積で、センサーのZ軸と被検体のXY軸を同時に位置決めすることができます。 仕様 - ...

繰返し精度: 2 µm
ストローク: 100, 650 mm
速度: 5 mm/s

... 大容量サンプルに対応したXYZインライン自動ウエハ検査装置 本検査装置は、50kgまでの大型平板キャリアの自動品質管理用に特別に設計されています。位置決めシステムは、非常にコンパクトなフットプリントで、センサーをZ方向に、試料をXY方向に、同時に位置決めすることができます。また、スピンドルドライブとスピンドルブレーキの組み合わせにより、最適な自己保持力を保証し、非通電状態でも垂直位置を維持することができます。また、低公害の全周囲密閉型システムは、粉塵や煙のある厳しい産業環境にも適しています。ケーブル配線のために、花崗岩にサスペンションシステムが取り付けられています。 ...

繰返し精度: 2.5 µm

... あらゆる角度から微小画素を高精度に検査することが可能 高精度位置決めシステムにより、検査対象のディスプレイをXYステージ上で移動させ、お客様専用のカメラまたはセンサーを設置します。カメラ／センサーはいずれも首振りや高さ調整が可能です。さらに、個々の検査対象物の違いを補正するために、検査対象のディスプレイを測定面に対して平行に傾けて位置合わせをすることもできます。ディスプレイのXY Rz方向の位置決めにより、カスタマイズされたカメラで、空間放射挙動のどの角度からでも各画素を評価することができます。 ...

速度: 30 mm/s

... 多彩な測定作業を可能にする高精度検査装置 この3軸位置決めシステムは、ステージがZ軸上のセンサーまたはカメラに測定対象物を移動させる高精度な計測アプリケーションのために設計されています。xyステージは、DCモーター設計の信頼性の高いKT310で構成されています。内部モーター、クロスローラーガイド、高精度ボールネジを採用したコンセプトにより、優れた精度と設置スペースの最適化を実現します。 高精度で安定した測定結果 - 自動試料検査に最適 - 0.3 µmまでの高精度な繰り返し精度 - ...

速度: 30 mm/s

... 多彩な測定作業を可能にする高精度検査装置 この3軸位置決めシステムは、ステージがZ軸上のセンサーまたはカメラに測定対象物を移動させる高精度な計測アプリケーションのために設計されています。xyステージは、DCモーター設計の信頼性の高いKT310で構成されています。内部モーター、クロスローラーガイド、高精度ボールネジを採用したコンセプトにより、優れた精度と設置スペースの最適化を実現します。 高精度で安定した測定結果 - 自動試料検査に最適 - 0.3 µmまでの高精度な繰り返し精度 - ...

繰返し精度: 1 µm

... XYZ検査ポータル、最大移動量720 mm｜XYリニアモーター、プロファイルレール｜Zボールネジ、DCモーター クリーンルーム用高精度品質検査装置 この検査システム（写真はカバーなし）は、自動品質保証のために特別に設計されています。位置決めシステムにより、2つの直線軸に沿った位置決めが可能です。高解像度のカメラやセンサーをサンプルに対して相対的に移動させ、形状の検査や測定、特別な品質特性の記録を行います。このシステムは、3軸用の独立したモーションコントローラによって制御されます。 自動化され、低メンテナンスで24時間365日検査が可能 ...

繰返し精度: 2.5 µm

... 分析・検査用8軸位置決めシステム｜XYZ DCモーター、ボールネジ｜Phi Theta Omega DCモーター、ACサーボ、ハーモニックドライブ 8方向から高精細な検査が可能 様々なサンプル形状や部品の解析・検査を可能にする8軸位置決めシステムです。カメラ／センサーはいずれも試料の上に傾けて高さを調整することが可能です。また、試料の個体差を補正するために、試料台を測定面に対して平行に傾けて立てることができます。XY Rz位置決めにより、カスタマイズされたカメラによる空間放射パターンにおいて、試料を任意の角度から評価することができます。 ...