Magnetron pulsado

sob medidalinear

Os magnetrões lineares da Angstrom Sciences incorporam os nossos ímanes de terras raras NdFeB patenteados, totalmente encapsulados e com perfil específico, que distribuem o campo por toda a superfície do alvo, aumentando a utilização do alvo e minimizando a contaminação por partículas provenientes da superfície do alvo. O fluxo turbulento de água também está presente em todos os nossos cátodos de pulverização por magnetrão, para proporcionar uma transferência térmica ideal e minimizar a falta de uniformidade devida a pontos quentes na superfície do alvo. Estas características, juntamente com outras como entradas integradas de gás de processo, paredes sólidas do ânodo e a utilização de materiais de ponta, garantem um desempenho e uma fiabilidade inigualáveis para o seu processo de pulverização. À medida que mais indústrias descobrem a velocidade, a controlabilidade e os benefícios financeiros da pulverização por magnetrão, a Angstrom Sciences está a desenvolver ferramentas para maximizar o rendimento destes processos de fabrico maiores e mais rápidos. Soluções de Maior Dimensão Para quem precisa de revestir substratos extremamente largos ou atingir um rendimento extremamente elevado, os magnetrões lineares oferecem a solução em linha perfeita. Compatibilidade Total de Potência As cabeças de baixa impedância oferecem compatibilidade com potência de RF, CC, CC de média frequência, CC pulsada, HiPIMS e micro-ondas. Acessórios Padrão Podemos utilizar acessórios padrão ISO NW, flanges com vedação metálica Conflat® ou flanges personalizadas com vedação por O-ring para a montagem. Todas as ligações são normalmente mantidas à pressão atmosférica e acedidas através de acessórios de compressão com O-ring padrão, para uma instalação fácil em qualquer sistema de vácuo. Desempenho comprovado Estes magnetrões oferecem o desempenho inigualável que tornou a Angstrom Sciences a referência do setor.