Magnetron pulsado

sob medidacircular

Os magnetrões circulares da Angstrom Sciences tornaram-se reconhecidos como a referência na indústria de pulverização catódica graças ao Angstrom Advantage™ e a uma série de outras características de conceção que oferecem possibilidades quase ilimitadas em termos de configuração e desempenho do processo. Conceção Versátil e Compacta A sua conceção compacta torna os nossos magnetrões circulares ideais para qualquer aplicação nova ou de modernização, incluindo os conjuntos de clusters mais complexos para as câmaras de vácuo mais pequenas. Compatibilidade Total de Potência As cabeças de baixa impedância proporcionam compatibilidade com potência de RF, CC, CC de média frequência, CC pulsada, HiPIMS e micro-ondas. Acessórios padrão Utilizamos acessórios padrão ISO NW, bem como flanges com vedação metálica Conflat®. Todas as ligações são mantidas à pressão atmosférica e são acedidas através de acessórios de compressão com O-ring padrão, para uma fácil instalação em qualquer sistema de vácuo. Gama Completa de Tamanhos As fontes de magnetrão circulares estão disponíveis com diâmetros de alvo desde 1″ (25 mm) até 16″ (406 mm) e superiores, em configurações padrão ou personalizadas. Substituição rápida e fácil do alvo A nossa braçadeira roscada patenteada para o alvo e a proteção do ânodo nos nossos cátodos circulares de pequenas dimensões permitem-lhe substituir os alvos sem o uso de ferramentas auxiliares. A sua capacidade de ajuste integrada também permite encaixar alvos de espessuras variáveis sem utilizar quaisquer dispositivos de espaçamento. Baixa pressão, alta potência Os magnetrões ONYX® podem funcionar a pressões extremamente baixas (até à faixa de 10⁻⁴ Torr) e os nossos designs de arrefecimento direto podem fornecer densidades de potência até 250 watts/pol² (30 watts/cm²) em funcionamento contínuo.