Os cátodos de pulverização catódica Magnetron RF de alta potência podem ser implementados com êxito em aplicações de I&D e de produção, desde que sejam incorporados critérios de conceção específicos na construção.
Os magnetrões circulares de RF de alta potência são arrefecidos diretamente e estão disponíveis em diâmetros exteriores de 2″-8″.
Como a energia de RF opera em alta frequência, é vital que o cátodo de pulverização catódica do magnetron seja projetado para controlar essa energia. Os magnetrões de RF de alta potência da Angstrom Sciences são projetados para fornecer energia de RF uniformemente em toda a superfície do alvo, proporcionando baixa potência refletida e confinamento de RF.
Os magnetrões de RF de alta potência estão disponíveis em configurações circulares e lineares.
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