Magnetron pulsado

circular

Os magnetrões de arrefecimento indireto incorporam uma parede intermédia entre a água de arrefecimento do cátodo circular e o alvo de pulverização. Esta parede cria uma vedação permanente entre a água e o vácuo, evitando fugas que poderiam ocorrer se o alvo fosse «pulverizado até ao fim». Os magnetrões circulares de arrefecimento indireto da Angstrom Sciences, com diâmetros de 1″ a 4″ (25 mm a 100 mm), incorporam uma braçadeira roscada para o alvo e uma proteção do ânodo que se adaptam a alvos de pulverização de espessuras variáveis. A substituição do alvo no design roscado é rápida e fácil, não requerendo ferramentas ou dispositivos auxiliares. Além disso, a braçadeira roscada do alvo e a proteção do ânodo criam uma cabeça de magnetrão circular compacta. Isto permite que os magnetronos circulares da Angstrom Sciences se adaptem a câmaras de vácuo com espaço reduzido e realizem a pulverização de um substrato com área de superfície maior do que a dos magnetronos convencionais. Os magnetrões de arrefecimento indireto são recomendados para aplicações de baixa potência e constituem a escolha ideal para aplicações de Investigação e Desenvolvimento.