As folhas de alumínio para a indústria eletrónica têm de cumprir os mais elevados requisitos de qualidade. Apenas o alumínio da mais alta pureza é utilizado para o fabrico de folhas de alta capacitância.
A pureza do alumínio aumenta consoante a tensão de funcionamento. Para aplicações de baixa tensão, o grau AI3N8 é suficiente, enquanto as altas tensões requerem AI4N (AI 99,99%).
Durante o recozimento, é utilizada uma atmosfera de processo extremamente pura para obter uma camada uniforme de Al2O3 na superfície da folha, o que, por sua vez, beneficia a gravação em túnel durante os processos subsequentes. O material é processado a temperaturas de recozimento entre 550 °C e 620 °C, e o ponto de orvalho da atmosfera deve ser inferior a -30 °C.
Para cumprir estes critérios rigorosos, o recozimento tem de ser efectuado num forno com uma retorta que seja estanque ao gás e ao vácuo. Um recozedor de sino HICON é ideal para esta aplicação.
Os recozedores de campânula HICON distinguem-se pelas seguintes características:
Superfícies metálicas concebidas para vácuo médio
Gradientes flexíveis de aquecimento e arrefecimento em vácuo ou atmosfera de processo
Espaço de carga de trabalho estanque ao gás e ao vácuo
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